本發(fā)明涉及曝光機(jī)除塵,具體為一種曝光機(jī)除塵裝置。
背景技術(shù):
1、曝光機(jī)是一種通過紫外線將膠片等透明體上的圖像信息轉(zhuǎn)移到涂有感光物質(zhì)表面的工業(yè)設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件及納米科技等領(lǐng)域。其核心組件包括uv燈系統(tǒng)、晶圓工作臺(tái)、顯微鏡及掩膜夾具,支持接觸式和接近式等多種曝光模式,線路板在推料組件上進(jìn)入到曝光機(jī)之前,需要使用到除塵裝置對(duì)表面灰塵和雜質(zhì)進(jìn)行去除。
2、目前,公告號(hào)為cn114515727b的中國發(fā)明,公開了一種曝光機(jī)除塵裝置。該除塵裝置雖然借助固定組件將除塵輥固定到曝光機(jī)上線路板的必經(jīng)之處,使線路板在進(jìn)入到曝光機(jī)內(nèi)部前對(duì)表面灰塵去除,但是在使用過程中還存在其他問題,如缺少較為精細(xì)的除塵措施和對(duì)應(yīng)的清理方式,首先附著在線路板上的灰塵和雜質(zhì)包括物理附著和靜電附著,物理附著的雜質(zhì)經(jīng)過除塵輥的擦拭會(huì)發(fā)生掉落,但是細(xì)小的因靜電附著的雜質(zhì)很難去除,且去除后的雜質(zhì)會(huì)從線路板上轉(zhuǎn)移到除塵輥上,轉(zhuǎn)移到除塵輥上的雜質(zhì)無法再次轉(zhuǎn)移,繼續(xù)使用時(shí)會(huì)容易再次污染線路板,除塵效果較差。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明的目的在于提供一種曝光機(jī)除塵裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。
2、為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:包括固定架和轉(zhuǎn)動(dòng)連接在內(nèi)部的第一輥筒以及開設(shè)在頂部的通槽,所述固定架的頂部設(shè)置有過濾盒;
3、所述過濾盒的頂部設(shè)置有頂升機(jī)構(gòu),所述固定架的內(nèi)部并位于第一輥筒的上方安裝有磁性傳感器,所述過濾盒的兩側(cè)均焊接有固定座,兩個(gè)所述固定座的正面分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接有收卷輥筒和放卷輥筒,所述收卷輥筒的一端固定套接有伺服電機(jī),所述伺服電機(jī)的正面通過螺絲與固定座連接,所述過濾盒的頂部安裝有plc控制器,所述過濾盒的底部設(shè)置有自適應(yīng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
4、在進(jìn)一步的實(shí)施例中,所述過濾盒的內(nèi)部通過螺絲連接有吸風(fēng)機(jī),所述過濾盒內(nèi)部的中端安裝有燒結(jié)濾網(wǎng),所述過濾盒的背面開設(shè)有出風(fēng)口,所述固定架的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有與第一輥筒平齊的第二輥筒,所述第二輥筒的表面開設(shè)有吸塵孔,所述過濾盒的正面貫穿連通有連接管道,所述吸塵孔的另一端貫穿并延伸至第二輥筒的內(nèi)部,所述連接管道的表面與第二輥筒之間為轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
5、在進(jìn)一步的實(shí)施例中,所述頂升機(jī)構(gòu)包括安裝架,所述安裝架設(shè)置在過濾盒的頂部,所述安裝架的頂部貫穿安裝有氣缸,所述氣缸的活塞端與過濾盒的頂部相連接,所述過濾盒的頂部對(duì)稱焊接有導(dǎo)向桿,所述導(dǎo)向桿的另一端貫穿并延伸至安裝架的頂部,所述安裝架的一側(cè)開設(shè)有兩個(gè)安裝孔。
6、在進(jìn)一步的實(shí)施例中,所述自適應(yīng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括固定筒,所述固定筒的數(shù)量為四個(gè),四個(gè)所述固定筒均安裝在過濾盒的底部,所述固定筒的內(nèi)部滑動(dòng)設(shè)置有移動(dòng)塊,所述移動(dòng)塊的底部和固定架之間安裝有連接柱,所述移動(dòng)塊的頂部和固定筒之間通過彈簧固定片栓接有固定彈簧,所述移動(dòng)塊的頂部和固定筒之間安裝有阻尼器。
7、在進(jìn)一步的實(shí)施例中,所述固定架的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有與第一輥筒平齊的第三輥筒。
8、在進(jìn)一步的實(shí)施例中,所述固定架的兩側(cè)均一體折彎成型有傾斜端,所述傾斜端的另一側(cè)通過螺絲連接有刮料板。
9、在進(jìn)一步的實(shí)施例中,所述過濾盒的背面通過螺絲安裝有防塵網(wǎng),所述防塵網(wǎng)的直徑大于出風(fēng)口直徑。
10、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:
11、本發(fā)明通過第二輥筒和第三輥筒分別設(shè)置在固定架內(nèi)第一輥筒的兩側(cè),當(dāng)安裝架用螺絲固定到曝光機(jī)進(jìn)料口的上方后,線路板輸送到曝光機(jī)前會(huì)依次經(jīng)過第二輥筒、第一輥筒和第三輥筒,線路板從右進(jìn)入時(shí)會(huì)先推動(dòng)到第二輥筒上移并帶其旋轉(zhuǎn),吸風(fēng)機(jī)啟動(dòng)后會(huì)產(chǎn)生吸力并通過吸塵孔將線路板上的灰塵和雜質(zhì)吸入,灰塵和雜質(zhì)吸入后會(huì)通過連接管道進(jìn)入到過濾盒內(nèi),線路板經(jīng)過初步處理后會(huì)與推動(dòng)第一輥筒旋轉(zhuǎn)并與粘膜的粘面接觸,粘膜的粘面會(huì)將細(xì)小和附著灰塵去除,粘膜移動(dòng)時(shí)會(huì)使放卷輥筒上的粘膜卷放開對(duì)應(yīng)長度,第一輥筒在旋轉(zhuǎn)時(shí)頂部的磁性傳感器會(huì)將信息反饋給plc控制器并控制伺服電機(jī)啟動(dòng),伺服電機(jī)在啟動(dòng)后會(huì)帶動(dòng)收卷輥筒對(duì)使用后的粘膜收卷保持粘膜的持續(xù)換新和張緊度,線路板經(jīng)過粘膜后會(huì)受到第三輥筒的推動(dòng)與粘膜分離,能夠?yàn)檠b置增加精細(xì)的除塵措施和對(duì)應(yīng)清理,提高了對(duì)灰塵和雜質(zhì)的除塵效果,實(shí)現(xiàn)除塵面的自動(dòng)換新和刮落,保障了整體的張緊效果和穩(wěn)定性,適用于多種規(guī)格厚度的線路板進(jìn)行加工,實(shí)用性高。
1.一種曝光機(jī)除塵裝置,包括固定架(1)和轉(zhuǎn)動(dòng)連接在內(nèi)部的第一輥筒(2)以及開設(shè)在頂部的通槽(20),其特征在于:所述固定架(1)的頂部設(shè)置有過濾盒(3);
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機(jī)除塵裝置,其特征在于:所述過濾盒(3)的內(nèi)部通過螺絲連接有吸風(fēng)機(jī)(12),所述過濾盒(3)內(nèi)部的中端安裝有燒結(jié)濾網(wǎng)(13),所述過濾盒(3)的背面開設(shè)有出風(fēng)口,所述固定架(1)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有與第一輥筒(2)平齊的第二輥筒(16),所述第二輥筒(16)的表面開設(shè)有吸塵孔(15),所述過濾盒(3)的正面貫穿連通有連接管道(14),所述吸塵孔(15)的另一端貫穿并延伸至第二輥筒(16)的內(nèi)部,所述連接管道(14)的表面與第二輥筒(16)之間為轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機(jī)除塵裝置,其特征在于:所述頂升機(jī)構(gòu)(4)包括安裝架(41),所述安裝架(41)設(shè)置在過濾盒(3)的頂部,所述安裝架(41)的頂部貫穿安裝有氣缸(42),所述氣缸(42)的活塞端與過濾盒(3)的頂部相連接,所述過濾盒(3)的頂部對(duì)稱焊接有導(dǎo)向桿(43),所述導(dǎo)向桿(43)的另一端貫穿并延伸至安裝架(41)的頂部,所述安裝架(41)的一側(cè)開設(shè)有兩個(gè)安裝孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機(jī)除塵裝置,其特征在于:所述自適應(yīng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(11)包括固定筒(111),所述固定筒(111)的數(shù)量為四個(gè),四個(gè)所述固定筒(111)均安裝在過濾盒(3)的底部,所述固定筒(111)的內(nèi)部滑動(dòng)設(shè)置有移動(dòng)塊(112),所述移動(dòng)塊(112)的底部和固定架(1)之間安裝有連接柱(113),所述移動(dòng)塊(112)的頂部和固定筒(111)之間通過彈簧固定片栓接有固定彈簧(114),所述移動(dòng)塊(112)的頂部和固定筒(111)之間安裝有阻尼器(115)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機(jī)除塵裝置,其特征在于:所述固定架(1)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有與第一輥筒(2)平齊的第三輥筒(17)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機(jī)除塵裝置,其特征在于:所述固定架(1)的兩側(cè)均一體折彎成型有傾斜端(18),所述傾斜端(18)的另一側(cè)通過螺絲連接有刮料板(19)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機(jī)除塵裝置,其特征在于:所述過濾盒(3)的背面通過螺絲安裝有防塵網(wǎng)(21),所述防塵網(wǎng)(21)的直徑大于出風(fēng)口直徑。