本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別是涉及一種用于半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備靜電吸盤密封圈安裝過程中使用的安裝治具。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備中的靜電吸盤（esc）上，側(cè)面密封圈安裝槽中安裝密封圈來保護(hù)靜電吸盤內(nèi)部不被等離子破壞。然而，因設(shè)備廠商不同、設(shè)備型號不同，所使用的靜電吸盤的形狀結(jié)構(gòu)也會略有差異。現(xiàn)有靜電吸盤具有兩種密封圈安裝槽結(jié)構(gòu)：第一種密封圈安裝槽截面形狀為矩型，密封圈安裝槽上下兩側(cè)尺寸一致，參考圖1所示。第二種密封圈安裝槽截面形狀同樣為矩型，但密封圈安裝槽上下兩側(cè)尺寸不一致，密封圈安裝槽上側(cè)尺寸大，下側(cè)尺寸小，參考圖2所示。第一種密封圈安裝槽上下兩側(cè)尺寸一致使用現(xiàn)有的安裝方法可以快速有效的安裝。但第二種密封圈安裝槽上下兩側(cè)尺寸不一致的靜電吸盤，因密封圈安裝槽下側(cè)比上側(cè)尺寸小、密封圈的內(nèi)徑尺寸又比密封圈安裝槽外直徑小，導(dǎo)致密封圈產(chǎn)品在安裝時會出現(xiàn)密封圈下端向內(nèi)收縮同時密封圈上端向外傾斜的現(xiàn)象，導(dǎo)致密封圈產(chǎn)品安裝非常困難，參考圖3所示。在此情況下，稍微調(diào)整密封圈的位置后，就會造成密封圈上端向內(nèi)收縮同時密封圈下端向外傾斜的現(xiàn)象，同樣安裝非常困難。此外，密封圈的高度尺寸比密封圈安裝槽的開口尺寸大，增加了產(chǎn)品安裝的難度。

2、因此，有亟需一種能適用各種形狀靜電吸盤密封圈安裝槽，能快速有效安裝靜電吸盤密封圈的工具。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、在
技術(shù)實現(xiàn)要素：
部分中引入了一系列簡化形式的概念,該簡化形式的概念均為本領(lǐng)域現(xiàn)有技術(shù)簡化，這將在具體實施方式部分中進(jìn)一步詳細(xì)說明。本發(fā)明的發(fā)明內(nèi)容部分并不意味著要試圖限定出所要求保護(hù)的技術(shù)方案的關(guān)鍵特征和必要技術(shù)特征，更不意味著試圖確定所要求保護(hù)的技術(shù)方案的保護(hù)范圍。

2、本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種能適用各種形狀靜電吸盤密封圈安裝槽，能快速有效安裝靜電吸盤密封圈的安裝治具。

3、為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供的靜電吸盤密封圈安裝治具，包括：導(dǎo)向部、按壓部和驅(qū)動部；

4、導(dǎo)向部，其形成為豎直方向截面為“l(fā)”形的片狀或板狀，其長邊能蓋在靜電吸盤頂面，其短邊具有與靜電吸盤側(cè)壁相適應(yīng)的弧度，其與按壓部配合能使靜電吸盤密封圈頂部被壓縮后送入密封圈安裝槽安裝就位；

5、第一通孔，其形成在導(dǎo)向部短邊對準(zhǔn)密封圈安裝位置；

6、按壓部，其第一端部插入第一通孔中，其第一端部能按壓密封圈進(jìn)入密封圈安裝槽，其第二端部連接驅(qū)動部；

7、驅(qū)動部，其能驅(qū)動按壓部在第一通孔中往復(fù)運動。

8、優(yōu)選的，進(jìn)一步改進(jìn)所述的靜電吸盤密封圈安裝治具，第一通孔形成為通孔中心與密封圈安裝槽中心一致的矩形通孔。

9、優(yōu)選的，進(jìn)一步改進(jìn)所述的靜電吸盤密封圈安裝治具，第一通孔孔口處頂壁形成有導(dǎo)向角；

10、導(dǎo)向部與按壓部配合能使靜電吸盤密封圈頂部被壓縮后送入密封圈安裝槽安裝就位。

11、優(yōu)選的，進(jìn)一步改進(jìn)所述的靜電吸盤密封圈安裝治具，導(dǎo)向部頂壁能在豎直方向壓縮靜電吸盤密封圈頂部；

12、導(dǎo)向部使靜電吸盤密封圈頂部進(jìn)入密封圈安裝槽時被壓縮后高度小于等于密封圈安裝槽頂壁高度。

13、優(yōu)選的，進(jìn)一步改進(jìn)所述的靜電吸盤密封圈安裝治具，導(dǎo)向部豎直方向截面形成為三角形，三角形大邊所在面與第一通孔頂壁共面。

14、相應(yīng)的，導(dǎo)向部豎直方向截面也可以形成為矩形或直角梯形，即能實現(xiàn)按壓密封圈頂部，使密封圈進(jìn)入密封圈安裝槽不會發(fā)生傾斜的截面形狀均可以形成導(dǎo)向部豎直方向截面。

15、優(yōu)選的，進(jìn)一步改進(jìn)所述的靜電吸盤密封圈安裝治具，還包括：

16、第一限位結(jié)構(gòu)，其形成在按壓部第一端部；

17、第二限位結(jié)構(gòu)，其形成在第一通孔內(nèi)；

18、第一限位結(jié)構(gòu)和第二限位結(jié)構(gòu)配合限制按壓部縮入第一通孔的最大行程。

19、更進(jìn)一步的，按壓部伸出第一通孔的最小行程要達(dá)到按壓面與靜電吸盤密封圈安裝槽開口面過盈0.1mm至0.5mm，進(jìn)而保證密封圈能夠被完全壓入靜電吸盤密封圈安裝槽。

20、優(yōu)選的，進(jìn)一步改進(jìn)所述的靜電吸盤密封圈安裝治具，驅(qū)動部包括：

21、主體，其豎直方向截面形成為“c”形或橫置的“n”形，導(dǎo)向部和按壓部插入其開口；

22、第三通孔，其形成在主體開口處，且相對第四通孔更靠近導(dǎo)向部；

23、第四通孔，其形成在主體開口處；

24、第一銷，其插入第三通孔、導(dǎo)向部?“l(fā)”形短邊上的第二通孔和按壓部上的第五通孔；

25、第二銷，其插入第四通孔和按壓部上的第六通孔；

26、其中，第五通孔的孔徑大于第二通孔和第三通孔的孔徑，第四通孔的孔徑大于第六通孔的孔徑，第六通孔始終位于第一通孔之外。

27、優(yōu)選的，進(jìn)一步改進(jìn)所述的靜電吸盤密封圈安裝治具，第四通孔形成為與按壓部運動方向不平行的槽孔或具有弧度的槽孔，該槽孔的弧度與“l(fā)”形短邊弧度相適應(yīng)；

28、第五通孔形成為與按壓部運動方向平行的槽孔。

29、優(yōu)選的，進(jìn)一步改進(jìn)所述的靜電吸盤密封圈安裝治具，第一銷和第二銷形成為t形插銷，通過卡簧固定在各通孔中。

30、優(yōu)選的，進(jìn)一步改進(jìn)所述的靜電吸盤密封圈安裝治具，主體的開口處的端部形成為三角形或弧形。

31、本發(fā)明的工作原理及技術(shù)效果如下：

32、本發(fā)明提供的靜電吸盤密封圈安裝治具通過驅(qū)動部相對導(dǎo)向部左或右擺動使按壓部壓向或遠(yuǎn)離密封圈。即第二銷在第四通孔中左右移動，第二銷在第六通孔中保持不動（或相比在第四通孔中移動行程短）；同時，第一銷在第五通孔中被拉得前后移動（壓向或遠(yuǎn)離密封圈），第一銷在第二通孔和第三通孔中保持不動（或相比在第五通孔中移動行程短）。

33、安裝密封圈時，參考圖5結(jié)合圖6所示，先將密封圈下部放在靜電吸盤密封圈安裝槽上，并將密封圈全部調(diào)整成下端向內(nèi)上端向外的狀態(tài)；使按壓部不凸出第一通孔，將靜電吸盤密封圈安裝治具的“l(fā)”形長邊放在靜電吸盤頂部，“l(fā)”形短邊靠近密封圈使第一通孔與密封圈對準(zhǔn)。

34、此時，密封圈上部傾斜的部分未完全進(jìn)入靜電吸盤密封圈安裝槽，傾斜在靜電吸盤密封圈安裝槽外的部分被按壓部推動時會被導(dǎo)向角向下壓縮，使進(jìn)入靜電吸盤密封圈安裝槽時密封圈頂部高度小于等于靜電吸盤密封圈安裝槽頂部高度。驅(qū)動部相對導(dǎo)向部左或右擺動，將按壓部第一端壓向密封圈，推動密封圈一側(cè)進(jìn)入靜電吸盤密封圈安裝槽，在推動的同時由于導(dǎo)向部向下壓縮的作用密封圈在進(jìn)入靜電吸盤密封圈安裝槽時頂部高度均小于等于溝槽頂部高度。

35、因密封圈有彈性，密封圈高出安裝槽尺寸會被按壓成與安裝槽一致的尺寸，且外側(cè)有“l(fā)”形的短邊擋住，密封圈不會繼續(xù)傾斜；此時再擺動驅(qū)動部以帶動按壓部將密封圈按壓進(jìn)安裝槽內(nèi)；此位置安裝完成后，使用同樣的方法在對稱位置安裝，后續(xù)都以等分對稱的方法安裝，直至密封圈完全安裝進(jìn)安裝槽內(nèi)。

36、本發(fā)明能將傾斜凸出密封圈安裝槽外的密封圈按壓與密封圈安裝槽高度一致的狀態(tài)，能快速有效的將密封圈安裝進(jìn)密封圈安裝槽，能提高靜電吸盤密封圈生產(chǎn)質(zhì)量和安裝效率。